辰南鑫顺自主 产品

分子泵机组

分子泵机组为莱宝品牌（包括移动小车）,含有以下部件
1.控制系统

1.1内置显示单元，监控和控制分子泵机组

1.2一键启动，自动操作，具有真空保护功能。

2.分子泵：Turbovac 90i
2.1. 进气法兰：DN63  ISO-K  

2.2. 抽气速度：N2 ≥90 L/s； He ≥90 L /s；H2 ≥78 L /s； Ar ≥83 L /s
2.3. 最大允许前级真空压力为（氮气条件下）：14 mbar
2.4. 启动时间短，操作反馈速度： 72000 min^-1
2.5. 冷却方式：风冷，含有风冷单元

2. 6 分子泵进气口滤网
3. 前级泵：SC 7 plus
3.1. 前级泵选用振动和噪音更低的涡旋式干泵
3.2. 真空度：0.02mbar
3.3. 抽速：≥6.1m3/h （50Hz）
3.4. 在进气口安装防反流电磁阀，在异常断电时对分子泵进行隔离保护

4. 冷阴极复合规，型号PTR90N，量程1×10E-8 mbar~1000 mbar.

5. 移动小车